Inpower Dry pooljuhtvaakumpumbad on spetsiaalsed pumbad, mida kasutatakse pooljuhtide tööstuses puhta ja kuiva vaakumkeskkonna loomiseks. Need pumbad on olulised selliste protsesside jaoks nagu keemiline aurustamine-sadestamine, füüsiline aurustamine-sadestamine, ioonide implanteerimine ja söövitamine.
Tehnilised parameetrid:
|
Mudel |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
|
|
SPEED (50Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
|
Ülim vaakum (50 Hz) |
Pa |
Väiksem või võrdne 1-ga |
Väiksem või võrdne 1-ga |
Väiksem või võrdne 1-ga |
Väiksem või võrdne 1-ga |
|
VÕIMSUS (50 Hz) |
Kw |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
Sunnitud sisemise tsirkulatsiooniga jahutus |
GXR on varustatud sunnitud sisemise tsirkulatsiooniga jahutusseadmega, mille maksimaalne pumba kehatemperatuur on<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Pinge ja sagedus |
Kohandage globaalse pinge ja sagedusega |
||||
|
Sisse-/väljalaskeava liides |
Kohandatav ääriku liides / KF liides |
||||
|
Vesi |
Rõhk (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Vooluhulk L/min |
3-5 |
||||
|
tem ( kraad ) |
10-30 |
||||
|
N2 |
Rõhk (MPa) |
0.05-0.1 |
|||
|
Vooluhulk L/min |
6-20 |
||||
|
Müra |
dB |
Väiksem või võrdne 68-ga |
Väiksem või võrdne 68-ga |
Vähem kui 70 või sellega võrdne |
Vähem kui 70 või sellega võrdne |
|
Kaal |
Kg |
280 |
360 |
360 |
420 |
|
Järelevalve ja kontroll |
Juhtpaneel/vaakum-digitaalekraan/temperatuuri jälgimine/voolu jälgimine/tõrkealarm/muud võrguteenused |
||||
|
Mudel |
GXR180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
|
|
SPEED (50Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
|
Ülim vaakum (50 Hz) |
Pa |
Väiksem või võrdne 0.1 |
Väiksem või võrdne 0.1 |
Väiksem või võrdne 0.1 |
Väiksem või võrdne 0.1 |
|
VÕIMSUS (50 Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
|
Sunnitud sisemise tsirkulatsiooniga jahutus |
GXR on varustatud sunnitud sisemise tsirkulatsiooniga jahutusseadmega, mille maksimaalne pumba kehatemperatuur on<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Pinge ja sagedus |
Kohandage globaalse pinge ja sagedusega |
||||
|
Sisse-/väljalaskeava liides |
Kohandatav ääriku liides / KF liides |
||||
|
Vesi |
Rõhk (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Vooluhulk L/min |
0.1 |
||||
|
tem ( kraad ) |
3-5 |
||||
|
N2 |
Rõhk (MPa) |
10-30 |
|||
|
Vooluhulk L/min |
0.05-0.1 |
||||
|
Müra |
Rõhk (MPa) |
6-20 |
|||
|
Kaal |
dB |
Vähem kui 70 või sellega võrdne |
Vähem kui 70 või sellega võrdne |
Väiksem või võrdne 72-ga |
Väiksem või võrdne 72-ga |
|
Järelevalve ja kontroll |
Kg |
600 |
720 |
800 |
1350 |
|
SPEED (50Hz) |
Juhtpaneel/vaakum-digitaalekraan/temperatuuri jälgimine/voolu jälgimine/tõrkealarm/muud võrguteenused |
||||
Iseloomulik:
Saastumisevaba töö:
Kuivkruvipumbad ei vaja määrimist ega tihendusvedelikke, välistades vaakumkambri saastumise ohu. See on pooljuhtide tootmiskeskkonna puhtuse säilitamiseks ülioluline.
Suur pumpamiskiirus:
Kuivkruvipumbad on võimelised saavutama suuri pumpamiskiirusi, mistõttu sobivad need hästi rakendusteks, kus on vaja gaaside kiiret evakueerimist, näiteks pooljuhtide töötlemisel.
Madalad hooldusnõuded:
Võrreldes õlitihendiga pumpadega on kuivkruvipumpade hooldusvajadus väiksem, kuna nende töö ei sõltu õlist. See vähendab seisakuid ja vähendab kulusid kogu pumba elutsükli jooksul.
Energiatõhusus:
Kuivkruvipumbad on loodud energiatõhususe tagamiseks, aidates pooljuhtide tootjatel vähendada üldist energiatarbimist ja tegevuskulusid.
Lai töövahemik:
Need pumbad võivad töötada laias rõhuvahemikus, pakkudes paindlikkust erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides, mis nõuavad erinevat vaakumitaset.
Kompaktne disain:
Kuivkruvipumbad on tavaliselt kompaktse disainiga, mis võimaldab hõlpsasti integreerida pooljuhtseadmetesse ja säästa väärtuslikku põrandapinda puhastes ruumides.
Töökindlus:
Kuivkruvipumbad on tuntud oma töökindluse ja pika kasutusea poolest, tagades ühtlase jõudluse aja jooksul ja aidates kaasa pooljuhtide tootmise üldisele tõhususele.
Inpower Dry pooljuhtvaakumpumbad Kasutusala:
Pooljuhtide tootmine:
Kuivkruvipumbad mängivad olulist rolli erinevates pooljuhtide tootmisprotsessides, sealhulgas keemilises aurustamises (CVD), füüsilises aurustamises (PVD), ioonide implanteerimises, söövitamises ja pihustamises. Need aitavad luua ja säilitada nende protsesside jaoks vajaliku vaakumitaseme.
Õhukese kile sadestumine:
Õhukeste kilede sadestamise tehnikates, nagu pihustamine ja aurustamine, kasutatakse protsessikambri tühjendamiseks ja õhukeste kilede substraatidele sadestamiseks vajalike vaakumtingimuste säilitamiseks kuivkeermega pumpasid.
Vahvlite töötlemine:
Kuivkruvipumpasid kasutatakse vahvlite töötlemise etappides, nagu puhastamine, muster ja doping, kus puhta ja kuiva vaakumkeskkonna säilitamine on täpsete ja usaldusväärsete tulemuste saavutamiseks ülioluline.
Kuum tags: kuivad pooljuhtvaakumpumbad, Hiina kuivpooljuhtvaakumpumpade tootjad, tarnijad, tehas
