Aastalpooljuhtide tööstus, valikkatmise tehnoloogiaon oluline tegur, mis mõjutab toote kvaliteeti ja jõudlust. Täna tutvustame kõigile FFE-tehnoloogiat.
FFE-tehnoloogia töötas välja Ühendkuningriigis asuv GENCOA, mis kasutab oma sisemiselt pööratavat magnetvälja oma tuumana, et oluliselt parandada ümmarguse tasapinnalise katoodi sihtmärkide madalat kasutusmäära ja halba ühtlust.
FFE-tehnoloogia peamised eelised seisnevad selle suures ühtluses ja sihtmaterjalide kõrges kasutusmääras. Sisemiselt pööratava magnetvälja abil saab FFE-tehnoloogia saavutada ühtluse kontrolli katmisprotsessi ajal.
Selle ühtlus võib ulatuda paremini kui ± 3%, samuti ületab sihtmaterjali kasutusmäär 40%.
Lisaks peamistele eelistele on FFE-tehnoloogial ka mitu võimalust ühtluse reguleerimiseks.
Näiteks magnetmassiivi pöörlemiskiirust (50-120 p/min) muutes saab reguleerida ühtlust katmisprotsessi ajal.
Lisaks on FFE-tehnoloogias tavaliselt kasutatavad ühtluse reguleerimise meetodid ka magneti asendi reguleerimine pöörlemistelje suhtes ja magnetplaatide kasutamine magnetvälja reguleerimiseks.
Nende reguleerimismeetodite mitmekesisus võimaldab FFE-tehnoloogial kohaneda erinevate katmisnõuetega, parandades toote kvaliteeti ja jõudlust.
FFE-tehnoloogia sobib väga hästi ka pooljuhtvahvlite katmiseks, kuna ühtlase ala ja ringikujulise aluspinna vahel on kõrge sobivus, muutes katmisprotsessi täpsemaks ja tõhusamaks.
Lisaks on FFE-tehnoloogia katoodi sihtmaterjali suurus mitmekesine, valikus on 3-8 tolli ja 10-17 tolli, mis vastavad erineva suurusega vahvlite katmisnõuetele.
Lisaks pooljuhtide tööstusele on FFE-tehnoloogial lai valik rakendusi ka muudes valdkondades.
Näiteks optika, elektroonika, kosmosetööstuse jne valdkonnas võib FFE-tehnoloogiat kaaluda toodete puhul, millel on kõrged nõuded katte kvaliteedile ja ühtlusele.
FFE-tehnoloogial on ka pika magneti eluea, reguleeritava pöörlemiskiiruse, suure võimsuse ja sihtmaterjalide otsese jahutamise omadused.
Need omadused muudavad FFE-tehnoloogia katmisprotsessi ajal stabiilsemaks ja usaldusväärsemaks. Samal ajal tagavad selle gaasirõhu kontroll ja vaakumveetihendi disain ka katmisprotsessi täpsuse ja ohutuse.
Järgnevalt on toodud ühtluse ja sihtkasutuse mõõtmised sihtmaterjali kogu elutsükli jooksul, töötades erinevatel kW · htel (sihtmaterjal on Cu (C101), võimsus on 5 kW alalisvoolu, gaas on Ar, rõhk on 5,9 E{{ 4}} mbar)
