Inpoweri abivaakumpumpa kasutatakse sageli koos teist tüüpi vaakumpumpadega, näiteks pöörlevate tiibpumpade või õlitihendiga pumpadega, et luua tööstusprotsesside jaoks võimsam ja töökindlam vaakumsüsteem.
Mudel: R30/70/150/300/400/600/900/1200/2500/5000/10000
Ülim vaakum: väiksem või võrdne 0.01Pa
KIIRUS 50 Hz: 30-10000 L/s
KIIRUS 60 Hz: 36-12000 L/s
Tehniline parameeter:
|
Mudel |
R30 |
R70 |
R150 |
R300 |
R600 |
R1200 |
R2500 |
|||
|
Pumpamiskiirus (50 Hz) |
L/s |
41 |
83 |
166 |
360 |
600 |
1200 |
2500 |
||
|
Ülim vaakum (50 Hz) |
Pa |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
||
|
Maksimaalne diferentsiaalrõhk |
Pa |
6700 |
6700 |
6700 |
5500 |
5500 |
4000 |
4000 |
||
|
Ülevooluklapi rõhuerinevus (valikuline) |
Pa |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
||
|
Võimsus (50 Hz) |
KW |
1.1 |
1.1 |
2.2 |
4 |
7.5 |
11 |
18.5 |
||
|
Võimsuskiirus (50 Hz) |
p/min |
1440 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
||
|
Ühendage |
Sisselaskeava läbimõõt |
Mm |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
|
|
Väljundi läbimõõt |
Mm |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
||
|
Jahutusmeetod |
Õhk/vesi |
Õhk |
Õhk |
Vesi |
Vesi |
Vesi |
Vesi |
Vesi |
||
|
Kaal |
Kg |
80 |
110 |
200 |
270 |
580 |
780 |
1400 |
||
|
Valikulised nõuded |
Valikulised valikud hõlmavad muutuvat sagedust,korrosioonivastane, plahvatuskindel jne vastavalt nõuetele |
|||||||||
Iseloomulik:
Toetav roll: lisajuurte vaakumpump töötab koos peamise juurpumbaga, et luua ja säilitada süsteemis soovitud vaakum. See aitab evakueerida juurpumba poolt väljutatavaid gaasimolekule, tagades tõhusa töö.
Õli- või kuivtöö: sõltuvalt konkreetsest mudelist võivad lisajuure vaakumpumbad töötada õlitihendiga mehhanismidega või kuivpumpadena. Õlitihendiga pumbad pakuvad tõhusat tihendamist ja määrimist, kuivpumbad aga välistavad tundlikes protsessides õli saastumise ohu.
Kompaktne disain: lisajuure vaakumpumbad on sageli kompaktsed ja kerged, mistõttu on neid lihtne paigaldada ja olemasolevatesse vaakumsüsteemidesse integreerida. Nende kompaktne suurus võimaldab paindlikkust süsteemi paigutuses ja konfiguratsioonis.
Töökindlus:
Nii nagu põhijuurepump, on ka lisajuure vaakumpumbad loodud töökindluse ja vastupidavuse tagamiseks. Need on ehitatud nii, et need taluvad pidevat tööd ja tagavad ühtlase jõudluse pikema aja jooksul.
Inpoweri lisavaakumpumba rakendus:
Vaakumkatmine: mitmeastmelisi juurpumpasid kasutatakse laialdaselt vaakumkatmisprotsessides, nagu füüsiline aurustamine-sadestamine (PVD) ja keemiline aurustamine-sadestamine (CVD), et sadestada substraatidele õhukesi kilesid täpselt ja ühtlaselt.
Pooljuhtide tootmine: Pooljuhtide tootmisrajatistes mängivad mitmeastmelised juurpumbad ülikõrgete vaakumtingimuste loomisel ja säilitamisel olulist rolli selliste protsesside jaoks nagu ioonide implanteerimine, plasma söövitamine ja vahvlite kontroll.
Analüütilised instrumendid: suure jõudlusega analüütilised instrumendid, nagu massispektromeetrid, elektronmikroskoobid ja pinnaanalüüsi tööriistad, saavad kasu mitmeastmeliste juurpumpade kasutamisest, et saavutada täpseks mõõtmiseks ja analüüsiks vajalik madal baasrõhk.
Kuum tags: abivaakumpump, Hiina lisavaakumpumpade tootjad, tarnijad, tehas
