Mehaaniline ülikõrge vaakumpump

Ülikõrgvaakumpumbad (UHV) mehaanilised võimenduspumbad (Roots Booster Pumps) suurendavad gaasi läbilaskevõimet madala{0}rõhuga vaakumsüsteemides, kus on vaja suurt pumpamisvõimsust ja kiireid pumba{1}}seisakuaegu.
Koos ühilduva tugipumbaga (nagu kuivvaakumpump või pöördlabapump) töötav võimendi kasutab positiivset-nihkemehhaanilist toimet, et suunata gaas kambri küljelt tugifaasi. See suurendab märkimisväärselt efektiivset pumpamiskiirust keskmise kuni ülikõrge{2}}vaakumrõhu vahemikus.

Tehnilised andmed

Parameeter	Spetsifikatsioon / valikunõue	Tehnilised kaalutlused
Toote tüüp	UHV mehaaniline võimenduspump (juurpõhimõte)	Positiivse-nihke suure-läbilaskevõimega võimendaja
Ääriku standardid	ISO-K / ISO-F, CF-äärikud või kohandatud	Valitud juhtivuse ja UHV tihendi terviklikkuse alusel
Pumpamiskiiruse vahemik	Mudelist-sõltuv (vt toimivuskõveraid)	Tuleb arvutada koos süsteemiliini juhtivusega
Töörõhk	Keskmine vaakum kuni ülikõrge vaakum (UHV)	Reguleeritakse täieliku pumpamisrongi ja kambri väljavooluga
Tagatispumba sobitamine	Kuivpump, pöörlev laba või pöörlev kolb	Tagastusvõimsus peab ühtima võimendi tühjendusvooluga
Max diferentsiaalrõhk	Mudeli-konkreetne lubatud rõhupiir (Delta P max)	Hoiab ära termilise ülekoormuse ja mehaanilise pinge
Vaakum{0}}Külgmaterjalid	Roostevaba teras, töödeldud sulamid, erikatted	Madal väljalaskekiirus ja kemikaalikindlus
Tihendi konfiguratsioon	Elastomeer (FKM/FFKM) või metalltihendid (CF)	Valitakse heeliumi lekkekiiruse ja väljaküpsetuspiiride alusel
Heeliumi lekke määr	Kuni 1 x 10^-10 mbar L/s	Kontrollitud massispektromeetri lekkedetektori abil

Valiku- ja integreerimisjuhend

Õige Rootsi võimenduspumba valimiseks ja vaakumsüsteemi sujuva integreerimise tagamiseks hinnake järgmisi tööpunkte:
Pumpamiskiirus ja sihtrõhk:Arvutage vajalik efektiivne pumpamise kiirus kambri sisselaskeava juures, võttes arvesse torustiku juhtivust.
Gaasi laadimis- ja protsessikandja:Tehke kindlaks protsessigaasi koostis, söövitavad omadused, tolmuosakesed ja materjali väljutamise kiirus.
Tagatispumba ühilduvus:Veenduge, et toetuspump käsitleks väljalaske mahtu, ületamata maksimaalset lubatud diferentsiaalrõhku (Delta P max).
Termilised ja süsteemiblokeeringud:Konfigureerige rõhulülitid, muutuva sagedusega ajamid (VFD) ja jahutusblokeeringud, et vältida mehaanilisi ülekoormusi töötlemisfaaside ajal.

Tüüpilised rakendused

Pooljuht ja elektroonika:Evakuatsiooni- ja protsessigaaside käitlemine söövitamise, CVD ja litograafia tugitööriistade jaoks, mis nõuavad vähest saastumist.
Õhuke-kile sadestamine ja katmine:Säilitab stabiilse töörõhu suure{0}}läbilaskevõimega PVD-, pihustus- ja optilise katmise protsesside ajal.
Uurimislaborid:Suur-usaldusväärne vaakumi jõudlus osakeste füüsika, pinnateaduse ja kosmosesimulatsiooni kambrite jaoks.
Vaakumpahjud ja töötlemine:Saab tõhusalt hakkama raskete gaasikoormustega kõrgel{0}}temperatuuril degaseerimisel, vaakumjoodisjootmisel ja kuumtöötlemisel.

Kvaliteedikontroll ja dokumentatsioon

UHV töökindlus nõuab rangeid tootmis- ja kontrollistandardeid:
Puhasruumi töötlemine:Mitmeastmeline ultrahelipuhastus, lahustiga rasvaärastus ja tolmuvaba-pakend, mis tagavad vähese väljutamise.
Täppistestimine:Rootori dünaamiline tasakaalustamine, mõõtmete kontrollimine ja massispektromeetri heeliumi lekke testimine.
Dokumendi esitatavad kaubad:Mudeli-spetsiifilised pumpamiskiiruse kõverad, CAD/STEPi kontuurijoonised, mootori elektrilised tehnilised andmed, materjalide sertifikaadid ja lekketesti aruanded.

KKK

K: Mis on ülikõrge vaakumiga mehaanilise võimenduspumba põhifunktsioon?

V: ülikõrge vaakummehaaniline võimenduspump suurendab efektiivset pumpamiskiirust ja gaasi läbilaskevõimet madala rõhuga vaakumsüsteemides. See suunab gaasi vaakumkambrist tagasipumba poole, võimaldades kiiret evakueerimist ja suuremat lõplikku survet.

K: Kas Rootsi mehaaniline võimenduspump võib töötada iseseisvalt ilma tugipumbata?

V: Ei. Mehaaniline rõhutõstepump vajab gaasi atmosfäärirõhuni väljajuhtimiseks sobivat tugipumpa (nt kuivpumpa või pöördlabapumpa).

K: Miks ma peaksin vältima rõhutõstepumba valimist ainult nominaalse pumpamiskiiruse alusel?

V: Nominaalne pumpamiskiirus tähistab ideaalset nihkumist, arvestamata tegelikke{0}}süsteemi kadusid. Tegelik jõudlus sõltub vaakum-vooliku juhtivusest, tugipumba võimsusest, töörõhust ja kambri gaasikoormusest.

K: Kuidas vältida termilist ülekoormust võimendipumba töötamise ajal?

V: Termilist ülekoormust välditakse töörõhu hoidmisega lubatud erinevuse piirides (Delta P max). Rõhualandusklapi, muutuva sagedusega ajami (VFD) või rõhulüliti kasutamine võimendi käivitamise{1}}juhtimiseks kaitseb pumpa liigse gaasikoormuse eest.

K: Milliseid UHV puhtuse ettevaatusabinõusid tootmise ajal võetakse?

V: UHV-teenuse puhul läbivad vaakum{0}}külgmised osad süsivesinike jääkide eemaldamiseks spetsiaalsed puhastusprotsessid, näiteks ultraheli rasvaärastus.

Kuum tags: ülikõrge vaakumiga mehaaniline võimendipump, Hiina ülikõrge vaakumiga mehaaniliste võimenduspumpade tootjad, tarnijad, tehas